招股说明书显示,中巨芯此次冲刺科创板上市计划募资15亿元,其中12亿元用于中巨芯潜江年产19.6万吨超纯电子化学品项目。
据悉,超纯电子化学品项目拟投入13.8亿元,主要建设内容包括8万吨/年电子级硫酸、3万吨电子级氢氟酸、3万吨电子级硝酸、2.5万吨电子级氨水、2万吨电子级双氧水、1万吨电子级异丙醇、0.1万吨电子级混酸,目前该项目仍在建设当中。
天眼查信息显示,中巨芯成立于2017年12月,由巨化股份和国家集成电路产业投资基金为主投资设立,主要从事电子湿化学品、电子特种气体和前驱体材料的研发、生产和销售。其中,电子湿化学品包括电子级氢氟酸、电子级硝酸、电子级硫酸、电子级盐酸、电子级氨水、缓冲氧化物刻蚀液、硅刻蚀液等;电子特种气体包括高纯氯气、高纯氯化氢、高纯六氟化钨、高纯六氟二丁烯、高纯氟化氢、高纯三氟甲烷、高纯八氟环丁烷、高纯八氟环戊烯等。
电子级氢氟酸领域:中巨芯是国内少数能够稳定批量供应12英寸1Xnm(10-20nm)制程的集成电路制造用电子级氢氟酸的企业,其电子级氢氟酸产品被浙江省经济和信息化厅认定达到“技术水平国际先进且打破国际垄断”;中巨芯电子级氢氟酸已达到G5级,截至2022年上半年拥有约54500吨/年的产能。此外,中巨芯旗下浙江凯圣氟化学有限公司3万吨/年ppt电子级氢氟酸扩建装置已于2022年年中顺利投料试车,产品级别可达G5级别。
含氟电子特气领域:中巨芯目前可以实现4N5纯度六氟丁二烯、5N5纯度高纯六氟化钨以及5N纯度高纯氟化氢的量产,并正进行6N纯度高纯六氟化钨的研发;中巨芯已实现实现5N纯度三氟甲烷、5N纯度八氟环丁烷、4N纯度八氟环戊烯的生产并进入客户端认证环节。
中巨芯业务发展历程如下: