据了解，为确保半导体制造工艺中的关键化学品氢氟酸（HF）的稳定和可持续供应，台积电与HF供应商合作，用磷肥废料替代萤石，在不影响原有工艺质量的情况下成功生产HF。
截至2023年2月，台积电有两家晶圆厂已应用这种环保氢氟酸，减少了萤石的使用量，二氧化碳排放量减少了12吨，其他台积电晶圆厂现在也在试生产中。
台积电预计在所有晶圆厂引入这种环保氢氟酸后，可减少12万吨以上的二氧化碳排放量，相当于58个台北大安森林公园一年的二氧化碳吸附能力。
电子级氢氟酸是半导体制造过程中湿法蚀刻工艺中的关键化学品，通常以萤石原料。但由于电子级氢氟酸生产困难且精炼工艺复杂，在生产过程中难以减少碳排放。
为了促进可持续发展，台积电自2021年以来一直与供应商合作，评估氢氟酸替代原材料的可行性。为使质量符合半导体工艺标准，台积电不仅在来料阶段提前指导供应商提供质量保证证书（CoA），更协助供应商开发独立的生产线进行测试。经过反复调整，台积电对工艺进行优化，确保后续生产质量处于良好状态。
台积电与供应商合作，利用磷肥废料生产氢氟酸
台积电预计2024年底第二条独立生产线建成后，萤石消费量将进一步减少，总碳减排量超过40万吨。除了提高原材料的品质，台积电也不断寻求改善可持续利用的机会。QR事业部继续与各晶圆厂合作，开展电子级硫酸和电子级异丙醇、氢氟酸气体的内部回收利用。他们还评估了从废料中回收氟气的情况，并指导供应商开发相关技术，以实现可持续资源再生的目标。
关于电子级氢氟酸
电子级氢氟酸主要应用于半导体制造过程的清洗和刻蚀等工序，它的纯度和洁净度对集成电路的良品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。
电子级氢氟酸可被分为EL、UP、UP-S、UP-SS、UP-SSS等级别，其中UP-SSS级别（相当于SEMI G5质量标准，金属杂质要求≤10ppt）的氢氟酸纯度最高，是12寸晶圆及更高规格的电子半导体产品制造环节必须用到的关键材料。
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据不完全统计，我国电子级氢氟酸生产企业约十几家，产品级别集中在UP-S及以下，能够达到半导体所用G5级的企业仅三四家，其中已投产的主要是多氟多（G5）、湖北兴力电子（G5）、中巨芯（G5）、滨化股份（G5）。
多氟多目前拥有电子级氢氟酸产能5万吨/年，其中G5级别为1万吨/年，目前在建3万吨/年产能（UPSSS），计划2023年建成投产。
滨化股份的电子级氢氟酸项目于2018年7月开始试生产，产品达到G5等级要求。根据2021年年报，滨化股份电子级氢氟酸产能为6000吨/年。
湖北兴力电子是兴发集团成员企业，引进台湾侨力公司电子级氢氟酸等技术，在园区建设3万吨/年电子级氢氟酸项目，该项目一期于2021年上半年投产，产能为1.5万吨/年，产品可以达到G5级别，已通过国内外部分高端市场客户的测试，实现批量供应。
中巨芯是巨化股份旗下公司，其3万吨/年ppt电子级氢氟酸扩建装置于2022年顺利投料试车，产品达到G5级别。
